三氟化硼11是一種由硼-11同位素構成的特種氣體，化學式為11BF3，是一種無色氣體，具有強烈的窒息性，遇水或濕氣會迅速水解并生成劇毒的氟化物煙霧，化學性質極為活潑，與金屬、有機物等發生劇烈反應。
高純度的三氟化硼11是電子工業中的重要原材料之一，尤其在半導體制造領域展現出顯著優勢。相較于包含硼-10和硼-11的天然硼，三氟化硼11純度更高，且中子吸收截面積極低。這一特性使其可作為離子注入和摻雜源，廣泛應用于硅和鍺的外延生長、擴散、離子注入及等離子刻蝕等半導體制造工藝，能有效提升芯片的穩定性和抗輻射能力。此外，三氟化硼11還可參與乙硼烷、三氯化硼等化工材料的制備，以及光纖預制件的生產。在顯示面板行業，三氟化硼11可作為硼源，用于液晶顯示器（LCD）和有機發光二極管（OLED）的制造。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025-2030年中國三氟化硼11行業市場深度調研及發展前景預測報告》顯示，現階段，全球三氟化硼11市場由少數幾家大型跨國企業主導，核心廠商包括3M、Entegris、Linde、Matheson、Messer等。這些企業在技術、產能和市場份額上均占據顯著優勢。在產品類型中，豐度≥99.8%的三氟化硼11占據主導地位，下游應用以半導體行業為主。
中國三氟化硼11市場起步較晚，同時由于三氟化硼11生產技術壁壘高、產能較低，我國高端產品仍依賴進口，國產化率處于較低水平。為此，近年來，我國企業加大了對三氟化硼11的研發力度，以滿足不斷擴大的市場需求。隨著研究的深入和制備技術的突破，部分企業已實現電子級高豐度三氟化硼11的量產。例如，2023年上海化工研究院研發的電子級高豐度硼11同位素生產工藝已在山東合益氣體股份有限公司實現穩定量產，產品豐度達到99.9%以上，填補了我國在高豐度硼11同位素產業上的空白。目前，我國三氟化硼11領域代表性廠商包括兆捷科技、山東合益氣體、山東重山光電材料等。
新思界
行業分析人士表示，三氟化硼11作為半導體制造中的關鍵材料，在半導體和顯示面板領域具有不可替代的作用，其市場前景廣闊。未來，隨著5G、物聯網、新能源汽車的普及，半導體行業對高純度、高豐度三氟化硼11的需求將持續增長。國內廠商需加大研發投入，提升產品純度和穩定性，以應對進口替代需求，為我國半導體產業和高端制造提供更穩定、安全的材料保障。
