開放式X射線源,又稱開管X射線源,指在高真空環境中能夠利用電子束轟擊金屬靶材產生X射線的裝置。開放式X射線源具備成像效果好、焦點尺寸小、放大倍率高等特點,在半導體制造、新能源電池制造、精密器件制造以及工業無損檢測等領域擁有巨大應用潛力。
按照密封方式不同,X射線源可分為封閉式X射線源以及開放式X射線源兩種類型。封閉式X射線源為X射線源市場主流產品,應用范圍較廣。與封閉式X射線源相比,開放式X射線源射線錐角更大且管電壓更高,未來伴隨技術進步,其市場占比有望提升。
根據新思界產業研究中心發布的《
2025-2030年開放式X射線源行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示,開放式X射線源在眾多領域擁有巨大應用潛力,主要包括半導體制造、新能源電池制造、精密器件制造以及工業無損檢測等。在半導體制造領域,開放式X射線源可用于晶圓檢測場景,包括晶圓內部異物雜質檢測、晶圓凸起橋接檢測等。近年來,隨著全球半導體產業逐漸向我國大陸轉移,我國晶圓產能持續擴張。2024年我國晶圓代工產能占據全球總產能近兩成。在此背景下,開放式X射線源市場需求有望增長。
全球開放式X射線源市場主要集中于德國,代表企業包括德國沃克斯公司(X-RAY WorX)、德國泛泰克公司(Finetech)、德國依科視朗國際有限公司(YXLON)等。在本土方面,受技術壁壘高、生產成本高等因素限制,行業發展初期我國開放式X射線源高度依賴進口。近年來,伴隨本土企業持續發力,我國開放式X射線源行業發展速度有所加快。
日聯科技專注于X射線檢測裝備的研發、生產及銷售,其自主研發的UNOS系列160kV納米級開放式X射線源已實現量產,該產品具備穿透性能佳、成像分辨率高、智能化程度高等優勢,未來有望在高精度檢測場景獲得應用。據日聯科技企業半年報顯示,2025年上半年公司X射線智能檢測設備實現營收4.1億元,同比增長41.4%。
新思界
行業分析人士表示,開放式X射線源在高精度檢測場景需求旺盛,未來伴隨我國晶圓產能持續擴張,其行業發展態勢將持續向好。在行業發展初期,海外企業長期占據我國市場主導地位。近年來,隨著技術進步,我國開放式X射線源市場國產化進程有所加快。
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