開放式X射線源，又稱開管X射線源，指在高真空環(huán)境中能夠利用電子束轟擊金屬靶材產(chǎn)生X射線的裝置。開放式X射線源具備成像效果好、焦點(diǎn)尺寸小、放大倍率高等特點(diǎn)，在半導(dǎo)體制造、新能源電池制造、精密器件制造以及工業(yè)無損檢測等領(lǐng)域擁有巨大應(yīng)用潛力。
按照密封方式不同，X射線源可分為封閉式X射線源以及開放式X射線源兩種類型。封閉式X射線源為X射線源市場主流產(chǎn)品，應(yīng)用范圍較廣。與封閉式X射線源相比，開放式X射線源射線錐角更大且管電壓更高，未來伴隨技術(shù)進(jìn)步，其市場占比有望提升。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2025-2030年開放式X射線源行業(yè)市場深度調(diào)研及投資前景預(yù)測分析報告》顯示，開放式X射線源在眾多領(lǐng)域擁有巨大應(yīng)用潛力，主要包括半導(dǎo)體制造、新能源電池制造、精密器件制造以及工業(yè)無損檢測等。在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，開放式X射線源可用于晶圓檢測場景，包括晶圓內(nèi)部異物雜質(zhì)檢測、晶圓凸起橋接檢測等。近年來，隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)逐漸向我國大陸轉(zhuǎn)移，我國晶圓產(chǎn)能持續(xù)擴(kuò)張。2024年我國晶圓代工產(chǎn)能占據(jù)全球總產(chǎn)能近兩成。在此背景下，開放式X射線源市場需求有望增長。
全球開放式X射線源市場主要集中于德國，代表企業(yè)包括德國沃克斯公司（X-RAY WorX）、德國泛泰克公司（Finetech）、德國依科視朗國際有限公司（YXLON）等。在本土方面，受技術(shù)壁壘高、生產(chǎn)成本高等因素限制，行業(yè)發(fā)展初期我國開放式X射線源高度依賴進(jìn)口。近年來，伴隨本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力，我國開放式X射線源行業(yè)發(fā)展速度有所加快。
日聯(lián)科技專注于X射線檢測裝備的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，其自主研發(fā)的UNOS系列160kV納米級開放式X射線源已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，該產(chǎn)品具備穿透性能佳、成像分辨率高、智能化程度高等優(yōu)勢，未來有望在高精度檢測場景獲得應(yīng)用。據(jù)日聯(lián)科技企業(yè)半年報顯示，2025年上半年公司X射線智能檢測設(shè)備實(shí)現(xiàn)營收4.1億元，同比增長41.4%。
新思界
行業(yè)分析人士表示，開放式X射線源在高精度檢測場景需求旺盛，未來伴隨我國晶圓產(chǎn)能持續(xù)擴(kuò)張，其行業(yè)發(fā)展態(tài)勢將持續(xù)向好。在行業(yè)發(fā)展初期，海外企業(yè)長期占據(jù)我國市場主導(dǎo)地位。近年來，隨著技術(shù)進(jìn)步，我國開放式X射線源市場國產(chǎn)化進(jìn)程有所加快。
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